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IPM系列

IPM系列

　　IPM系列設備的結構組成：負載鎖定、轉移、計量、PVD、蝕刻、灰化、巖性、植入。特點： 綠色制造、全新系列干式真空泵 體積小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度嚴苛制程的節能泵。真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵


相關標簽：半導體真空泵,IPM系列,

來源：http://www.chenyequn.cn/product784049.html

發布時間 : 2021-11-16 11:40:48

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